北森武彥 主任

- 國立清華大學 動力機械工程學系 
- 國立清華大學 奈米工程與微系統研究所 
- 特聘研究講座教授
- 長青榮譽講座教授
- 玉山學者
- 瑞典皇家科學院國際院士
- 東京大學榮譽教授 

陳致真 副主任 

- 國立清華大學 動力機械工程學系
- 國立清華大學 奈米工程與微系統研究所